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加速度传感器灵敏度提高百倍以上

发布时间:2019-08-23 15:40

  东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构,成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS(微机电系统)加速度传感器,实现了1微()G级(G=9.8m/s2,重力加速度)的高分辨率检测。

  这一创新技术提高了超小型加速度传感器的分辨率,并实现其通用化,可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人应用等各种运动检测中,有助开发新的器件和系统。

  该研究小组此前提出过利用金材料将MEMS加速度传感器的砝码体积削减至十分之一以下的方法。此次以该方法为基础,通过重叠多层金层形成MEMS结构,增加了单位面积的砝码重量,与以往相同尺寸的传感器相比,灵敏度提高百倍以上,噪声降至十分之一以下。



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